Каковы материалы и характеристики МЭМС-гироскопа?

[Kelly Yu]

[url]https://www.ericcointernational.co ... -gyroscope[/url]— это устройство, основанное на технологии микроэлектромеханических систем. В основном он сделан из кремния, но также может быть изготовлен из других материалов, таких как германий и арсенид галлия.
Существует три основные характеристики, которые необходимо учитывать в процессе производства МЭМС-гироскопа: эластичность, неупругость и прочность. Также необходимо учитывать другие свойства, такие как удельное сопротивление, теплопроводность, коэффициент теплового расширения, химическая стойкость и т. д. Некоторые свойства зависят от конкретного устройства MEMS, например тепловые, электрические, химические и оптические свойства.
▪ Эластичные свойства
Упругие свойства имеют решающее значение для работы МЭМС-гироскопа и в основном определяются двумя параметрами: модулем Юнга и коэффициентом Пуассона. Модуль Юнга представляет собой жесткость материала, а коэффициент Пуассона описывает расширение материала в направлении, перпендикулярном направлению сжатия. Оба параметра можно измерить с помощью методов отклонения нагрузки.
▪ Неэластичные свойства
Пластическая деформация возникает, когда материал деформируется под напряжением, не возвращаясь к своей первоначальной форме. Поэтому крайне важно изучить поведение МЭМС-материалов при неупругой деформации. Усталость также является важной характеристикой, поскольку она показывает, как МЭМС-гироскоп будет работать в условиях постоянной нагрузки или нескольких циклов нагрузки. Усталость может привести к пластической деформации, которая может привести к выходу из строя или снижению производительности МЭМС-гироскопа.
▪ Прочностные характеристики
В технологии МЭМС есть несколько ключевых свойств, связанных с прочностью, таких как прочность на растяжение, прочность на излом, прочность на изгиб и предел текучести. Все они демонстрируют надежность и надежность МЭМС-гироскопа. Эти свойства можно улучшить за счет оптимизации геометрической конструкции.
В МЭМС-гироскопе используются следующие типы материалов:
Неметаллы: кремний, германий и арсенид галлия.
Металлы: никель и алюминий.
Полимер: SU8 и полиамид.
Керамика: алмаз, SiC, SiO2, Si3N4.

Если вы хотите узнать больше о MEMS-гироскопе, вы можете прочитать окно https://www.ericcointernational.com/info


Свяжитесь со мной:
WhatsApp: 173 9198 8506